購入した研磨材
ダイヤモンド粒子はプロセスレシピの一部であり、自動的に廃棄物として分類されるべきではありません。.
サファイアラッピングでは、後続の仕上げ工程の前に、材料を除去し平面度を確立するために、制御されたスラリーを使用します。スラリーには、定義された粒子分布用に選択されたダイヤモンド研磨材、液体キャリア、およびプロセス添加剤が含まれる場合があります。ラッピングが続くと、サファイアの破片、破損した研磨材、その他の汚染物質が循環流に入ります。.
したがって、使用済みスラリーは単なる「汚れたクーラント」ではありません。一部の懸濁固体は意図的で価値があり、その他は生成された廃棄物です。破片が許容できないレベルに達したときにプラントがバッチ全体を廃棄すると、キャリア流体と残りの使用可能な研磨材を一緒に失います。制御なしでスラリーを返却すると、変化する粒子集団が除去挙動と表面の一貫性に影響を与える可能性があります。.
ダイヤモンド粒子はプロセスレシピの一部であり、自動的に廃棄物として分類されるべきではありません。.
サファイアの微粉、破損した粒子、および外部汚染物質は、製造中に蓄積します。.
バッチが使用されるにつれて、粒子分布、固体濃度、粘度、および化学組成がドリフトする可能性があります。.
回収目標は、機器を選択する前に記述する必要があります。あるプラントは、配合チェック後に返却できる清澄化されたキャリアストリームを望むかもしれません。別のプラントは、実験室での再分類と可能性のある研磨材の再利用のために固体を濃縮することを望むかもしれません。3番目のプラントは、制御されたスラリーサイクルを延長するのに十分な破片負荷を削減することだけを必要とするかもしれません。.
遠心分離は、粒子の密度、サイズ、形状、流体粘度、および滞留時間に応答します。価値あるダイヤモンド研磨材とサファイアの破片は、2つの完全に分離可能な集団を形成しない場合があります。システムは、材料名だけから選択的な回収を約束すべきではありません。テストでは、各出力ストリームに入るものと、その結果がラッピングレシピで許容可能であるかどうかを示す必要があります。.
ダイヤモンド研磨材と調整済みスラリーはプロセスコストを表しますが、正しい対応は無制限の再利用ではありません。サイクルが続くにつれて、スラリーは生成されたサファイアの破片、破損した研磨材、および制御されていない粒子分布をより多く運ぶことができます。その変化は、材料除去、傷のリスク、平面度、または後続の研磨への負荷に影響を与える可能性があります。.
したがって、回収は経済的価値と品質管理のバランスをとる必要があります。プラントは、回収された液体または固体のストリームに対する受け入れルールを必要とします:粒子サイズ分布、固体濃度、粘度、化学組成、除去率、または表面測定。そのルールなしでは、分離機は2つのストリームを生成しても、有用なプロセス結果を作成できない可能性があります。.

代表的なサンプルには、実際のキャリア、添加剤、研磨材グレード、および通常の動作温度でのサファイアの破片を含める必要があります。テストでは、ボウル速度、供給速度、または滞留時間を制御されたステップで変更し、液体と濃縮された固体の両方のストリームを収集します。.
各ストリームは、回収目標に対して分析する必要があります。視覚的な明瞭さだけでは十分ではありません。有用なチェックには、固体濃度、粒子サイズ分布、粘度、化学組成、研磨材含有量、および制御されたラッピングトライアルが含まれる場合があります。価値ある粒子と不要な粒子が同じストリームに報告される場合、遠心分離だけでは選択的な回収を達成できない可能性があり、完全なソリューションとして販売されるべきではありません。.
分離装置の稼働状況をご覧ください。サファイアラッピングスラリーの場合、サンプルテストは、液体ストリームと固体ストリームをプロセスで再利用する方法を決定するのに役立ちます。.
VC-600およびVC-1500は公開されている機器の開始点であり、保証された回収レシピではありません。VC-600は、ラボから単一ラインの評価のために、現在のVC範囲で最高のGフォースを提供します。VC-1500は、テストで許容可能な分離が確認された後、複数のラッピングマシンまたはより大きな中央スラリータンクのために、より高い循環フローを提供します。.
| プロセスレイアウト | モデル | バイパス流量、サンプ容量、固体の堆積、粘度、およびサンプルテストの結果を使用して、動作点を選択します。公表されている定格は、出口の清浄度を保証するものではありません。 | 単一機械 / 高G | 流量 | エンジニアリングの役割 |
|---|---|---|---|---|---|
| サンプル研究、単一ライン、または困難な微粒子評価 | VC-600 | 60 L/分 | 6,500 G | 2 L | 最も高いGフォースの開始点。実際のテストフローは、定格最大値よりも低い場合があります。. |
| 複数の機械または中央スラリー循環 | VC-1500 | 150 L/分 | 1,860 G | 8 L | スケールでの回収品質が実証された後の循環流量の増加。. |
自動排出は濃縮された固形物ストリームを収集できますが、排出経路と収集容器は回収プロセスの一部として設計する必要があります。参照してください 自動スラッジ排出遠心分離機シリーズ.
このページには、公開されている普遍的な回収率は記載されていません。有効な結果には、供給組成、テスト条件、物質収支、および両方の出力ストリームの品質を記載する必要があります。経済的評価には、スラリー購入、現在の廃棄量、テストおよび再配合コスト、廃棄物処理、オペレーターの時間、およびウェーハ品質への影響を含める必要があります。.
スラリー消費量(バッチあたり)、廃棄トリガー、研磨材仕様、除去率、表面欠陥、平坦度、またはその他のプラント受け入れ基準をカバーするベースラインから開始します。テスト後、回収された材料を同じ基準と比較します。ソースデータと許可が確認され次第、アプリケーション参照をリクエストに応じて共有できます。.
スラリーレシピ、ダイヤモンド研磨材仕様、サファイアプロセス、温度、バッチ量、現在の廃棄ルール、および回収したい出力を提供してください。VC-600、VC-1500、またはその他のプロセスルートを推奨する前に、テスト計画を定義します。.